Исследование и диагностика микро- и наноструктур

Дисциплина: Б1.О.12 Исследование и диагностика микро- и наноструктур
Ступень: Магистр (ФГОС3++)
Факультет: Физический факультет
Направление: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Интегральная электроника  и наноэлектроника
Форма обучения: Очная
Кафедра: Кафедра физики твердого тела и наноструктур

Год учебного плана: 2020-2021

Разработал: Доктор физико-математических наук, доцент Турищев С.Ю.

Текущая аттестация
Лекционный курс
Лабораторные занятия
Самостоятельная работа
Зачет с оценкой, курсовая работа

 

Целями и задачами освоения дисциплины являются:

Знакомство с основными методами исследования и диагностики микро- и наноструктур, Изучение методов исследования морфологии, состава и структуры, электронно-энергетического спектра материалов и компонентов микро- и наноэлектроники.

Ознакомление с подходами, методами, методиками и работой исследовательских установок структурного анализа, зондовой микроскопии, фотоэлектронной и растровой Оже-электронной спектроскопии, рентгеновской спектроскопии, растровой и просвечивающей электронной микроскопии, необходимых для дальнейшей самостоятельной работы.

 

Основные разделы:

1. Классификация методов исследования и диагностики микро- и наноструктур.

2. Дифракция рентгеновских лучей и анализ структуры

3. Растровая электронная микроскопия и сканирующая туннельная микроскопия.

4. Фотоэлектронная и Оже- электронная спектроскопия.

5. Рентгеновская спектроскопия, эмиссия и поглощение.

6. Просвечивающая электронная микроскопия и дифракция электронов