Формирование поликристаллических пленок GaN методом электронно-лучевого испарения
Исследование влияния содержания кислорода на фазовый состав и электрические свойства пленок SIPOS, используемых в высоковольтной микроэлектронике
Исследование влияния на электрофизические характеристики мощных СВЧ LDMOS-структур конструктивно-технологических параметров стоковых областей и режимов работы