Методы диагностики и анализа микро- и наносистем

Дисциплина: Б1.В.ДВ.11.01 Методы диагностики и анализа микро- и наносистем

Ступень: Бакалавр (ФГОС3+)

Факультет: Физический факультет

Направление: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Нанотехнология в электронике (ФГОС3+)

Форма обучения: Очная

Кафедра ответственная за дисциплину: Кафедра физики твердого тела и наноструктур

Год учебного плана: 2020-2021

 

Разработал: Доктор физико-математических наук, доцент Турищев С.Ю.

 

Текущая аттестация (2 ч.)

Экзамен (36 ч.)

Лекционный курс (42 ч.)

Самостоятельная работа (68 ч.)

Лабораторные занятия (70 ч.)

 

Дисциплина направлена на получение студентами основных теоретических знаний, умений и практических навыков в области обоснования, выбора и экспериментального применения современных методов диагностики и анализа микро- и наносистем.

 

Целями освоения дисциплины являются:

- освоение фундаментальных принципов и подходов к выбору, его обоснованию, современных экспериментальных методов диагностики и анализа материалов, структур и систем микро- и наноразмерного диапазонов

- приобретение навыков эффективного использования современных экспериментальных методов диагностики и анализа для систем, в первую очередь используемых при разработке приборов и устройств микро- и наноэлектроники, при применении технологических подходов в этих прикладных областях современной науки, техники и технологий.

 

Основные разделы:

1. Основные подходы к проведению диагностики микро- и наносистем.

2. Физические принципы, лежащие в основе растровой электронной микроскопии.

3. Физические принципы, лежащие в основе сканирующей зондовой микроскопии.

4. Рентгеновские методы структурного анализа, общие физические принципы и подходы к анализу микро- и наносистем.

5. Рентгеноэлектронные методы спектрального анализа, общие физические принципы и подходы к анализу микро- и наносистем.

6. Синхротронные методы диагностики, общие физические принципы и подходы к анализу микро- и наносистем.

7. Методы оптической спектроскопии в диагностике микро- и наносистем.

8. Основные способы диагностики электрофизических характеристик микро- и наносистем.